Особенности пиролиза молекул моно- и дигермана в установках газофазной эпитаксии слоев германия — Орлов Лев Константинович, Ивина Н.Л., Кондрашина К.А., Морозова Е.А.
Особенности пиролиза молекул моно- и дигермана в установках газофазной эпитаксии слоев германия — Орлов Лев Константинович, Ивина Н.Л., Кондрашина К.А., Морозова Е.А.