Existiert denn ein fhem/FHEM/01_FHEMWEB.pm? Wenn ja, was steht weiter vorne im Log?
Quellen Entpacken != Installieren. Da fehlt noch ein "make install".
Oder man entpackt das fhem-5.1-fb7390.image oder das fhem-5.1.deb und man nimmt
das fhem/FHEM Verzeichnis von dort.