reinigen/aetzen von AlN
N. Schmidt
wir wollen auf ein Keramiksubstrat (Aluminiumnitrid) Goldleiterbahnen
herstellen.
In der Elektronik ist der Prozeß als Dünnschicht - Hybridtechnik
bekannt.
Als erstes wird das Keramik - Substrat mit einer Chromhaftschicht
bedampft und darauf folgt die Goldschicht. Später werden die
Leiterbahnen freigeätzt.
Funktionierte alles wunderbar, bis zu dem Zeitpunkt, wo die Leiterbahnen
angeschlossen/verdrahtet wurden. Leider lösten sich dabei die Goldbahnen
samt Chromschicht wieder von der Keramikplatte.
Die Keramiksubstrate kaufen wir bereits poliert und zugeschnitten. Sie
werden von uns dann noch mit Aceton und Ethanol gereinigt.
Kann man das AlN anätzen, damit die Chromschicht besser hält?
Wenn ja - womit?
Vielen Dank!
Nicole Schmidt
Andreas Haimberger
"N. Schmidt" schrieb:
[...]
> Funktionierte alles wunderbar, bis zu dem Zeitpunkt, wo die
> Leiterbahnen angeschlossen/verdrahtet wurden. Leider lösten sich
> dabei die Goldbahnen samt Chromschicht wieder von der Keramikplatte.
Meiner Erfahrung nach halten gesputterte Schichten wesentlich besser
als aufgedampfte (Sputtern = Erzeugung dünner Schichten durch
Kathodenzerstäubung in einer Niederdruck-Gasentladung). Sollte
irgendwer in eurer näheren Umgebung eine Sputteranlage besitzen, würde
ich es mal damit versuchen.
MFG, Andy
--
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Rolf Bombach
>
> "N. Schmidt" schrieb:
>
> [...]
> > Funktionierte alles wunderbar, bis zu dem Zeitpunkt, wo die
> > Leiterbahnen angeschlossen/verdrahtet wurden. Leider lösten sich
> > dabei die Goldbahnen samt Chromschicht wieder von der Keramikplatte.
>
> Meiner Erfahrung nach halten gesputterte Schichten wesentlich besser
> als aufgedampfte (Sputtern = Erzeugung dünner Schichten durch
> Kathodenzerstäubung in einer Niederdruck-Gasentladung). Sollte
> irgendwer in eurer näheren Umgebung eine Sputteranlage besitzen, würde
> ich es mal damit versuchen.
Das bringt die Idee auf, mit "Glimmen" zu reinigen oder anzuätzen,
sozusagen Sputtern ohne Sputtermaterial. Ev. mit Ar-O2, das sollte
organisches dann "porentief" wegfetzen. Ich weiss nicht, ob das mit
dem Azeton eine gute Idee ist, so was kann feine Schichten von
irgendeinem Kondensatschlunz hinterlassen.
--
mfg Rolf Bombach
N. Schmidt
Wir haben eine Sputteranlage und sputtern mit Argon eine 10nm
Chromhaftschicht und darauf eine Gold-Grundmetallisierung (ca 300nm).
Grüße
N. Schmidt
Andreas Haimberger schrieb:
J. Strübig
Ethanol ud Aceton, verwenden sie hier auch immer (Physiker), ich würde
aber eher zu Natronlauge oder Schwefelsäure raten. organische LM sind
i.d.R. mehr verschmutzt als wässrige Lösungen (wenn man von p.A.
ausgeht) und lösen nur einen Teil der orgnaischen Verunreinigungen und
fast keine anorganischen.
Wenn das Substrat H2SO4 conc. verträgt würd ich die mal in heißer (100
C) mehrere Stunden baden. (übrigens nicht zum ätzen, das AlN sollte
dagegen resistent sein, sondern zum reinigen)
Ansonsten sputtern.
Struppi.
J. Strübig
Genau das versuch hier den Physikern schon seit über 10 Jahren zu
erklären. Deren Lösung ist, das sie halt für alle Reinigungsarbeiten nur
noch hochreines Aceton (iso-Prop, Ethanol) verwenden.
Manchmal hat man halt als einfacher CTA nicht genug Gewicht um ein
Arbeitsvorschrift eines Profs in Frgae zu stellen
Struppi.
Rolf Bombach
>
> > Das bringt die Idee auf, mit "Glimmen" zu reinigen oder anzuätzen,
> > sozusagen Sputtern ohne Sputtermaterial. Ev. mit Ar-O2, das sollte
> > organisches dann "porentief" wegfetzen. Ich weiss nicht, ob das mit
> > dem Azeton eine gute Idee ist, so was kann feine Schichten von
> > irgendeinem Kondensatschlunz hinterlassen.
>
> Genau das versuch hier den Physikern schon seit über 10 Jahren zu
> erklären. Deren Lösung ist, das sie halt für alle Reinigungsarbeiten nur
> noch hochreines Aceton (iso-Prop, Ethanol) verwenden.
>
> Manchmal hat man halt als einfacher CTA nicht genug Gewicht um ein
> Arbeitsvorschrift eines Profs in Frgae zu stellen
IMHO nützt auch hochreines Azeton nichts. Das ist halt eine
ungesättigte Verbindung welche auf Oberflächen allerlei
Chemie treiben kann. Für UV Optik reicht es manchmal, nach
einer Azetonbehandlung gründlich mit Methanol nachzuputzen,
aber idR würde ich das Zeug generell meiden für sauberste
Oberflächen.
--
mfg Rolf Bombach
Norman Reppingen
"N. Schmidt" wrote:
>
> Die Keramiksubstrate kaufen wir bereits poliert und zugeschnitten. Sie
> werden von uns dann noch mit Aceton und Ethanol gereinigt.
Hm. Um Organisches definitiv wegzubringen, ginge evt. rauchende HNO3.
Die tuts jedenfalls, wenn eine Pipette nicht so ausläuft, wie sie soll.
Sie ist nicht so viskos wie konz. H2SO4, und hat nen niedrigeren
Siedepunkt.
> Kann man das AlN anätzen, damit die Chromschicht besser hält?
AlN ist hydrolyseempfindlich, wenn es nicht gesintert wäre,
könntest Du es sogar mit Wasser "anätzen".
Evt. würde eine Ammoniaklösung ihr übriges tun.
Nichtflüchtige Laugen hinterlassen womöglich irgendwas Unerwünschtes.
Ich würde die Teile nach den Reinigungsmassnahmen
jedenfalls sehr gründlich trocknen, so jenseits der 250 Grad.
Das sollten die Teile ja abkönnen.
Beste Wünsche,
Norman