Формообразование металического осадка методом LCVD на диалектрическую подложку.

87 views
Skip to first unread message

Кирилл_zp

unread,
Mar 16, 2013, 1:46:03 PM3/16/13
to comsol...@googlegroups.com


Целью работы является теоретическое исследование температурного поля в веществе, которое осаждается под действием неподвижного пучка лазерного излучения, В предложенной модели учитывается зависимость теплопроводности металлического
осадка и буферного газа от температуры, а также радиационный и конвективный тепло-обмен с поверхности осаждающегося вещества. Данный подход позволяет объяснить закономерности эволюции формы осадка.
При анализе процесса получения металлического осадка путем лазерно-пиролитического осаждения из газовой фазы примем следующие допущения:
-распределение температуры считаем стационарным, так как характерное время теплопроводности много меньше времени осаждения;
-влиянием  диффузионного лимитирования на динамику процесса осаждения пренебрегаем;
-на нижней и боковой поверхности поддерживается постоянная температура;
-лазерное излучение с гауссовым пространственным распределением интенсивности
по сечению пучка падает нормально к поверхности диэлектрической подложки;
-распределение температуры является осесимметричным;
-коэффициенты теплопроводности металлического осадка и буферного газа считаем
линейно зависящими от температуры;
-теплопроводность осадка(металла) много больше теплопроводности подложки(диэлектрика).



В принципе задача описана. Теперь по-шагово что я делал.
Выбираю модель.



Теперь выставляю ГУ, На нижней и боковой грани ставлю Т_0 ( грани 2,4)



На гранях 1,3.



Больше ничего не выставляю получаю результат.



Если вводить параметрі материала, то особо картинка не меняется. к- я так понимаю это лямбда зависящая от температуры. Проблема в том что не выходит присвоить температуре какой-то диапазон значений, так же не выходит вбить лямбду зависящую от температуры ( вбивал в меню oprions/function, если это надо вбивать не тут, то где ?) Если ставить определенное значение температуры,то все так же картинка не меняется. Проблема в том что этот результат ну никак не совпадает с результатам авторов статьи откуда и взята сия "модель". Пример ввода параметров материала.



п.с. последним слагаемым пренебрег т.к. его значение очень мало и не должно влиять на картину ( по крайней мере мне так сказали :) )

















Pavel Dergachev

unread,
Mar 19, 2013, 2:40:30 AM3/19/13
to
Добрый день!

В данной задаче есть несоответствие:
ГУ условие (4) должно содержать λ, а не λ с тильдой в стандартной постановке краевой задачи.
Поэтому решение такой задачи вообще под вопросом.

Кирилл_zp

unread,
Apr 9, 2013, 6:19:15 AM4/9/13
to comsol...@googlegroups.com
Благодарю за помощь, все работает и вроде более менее правдивые результаты)
п.с. внизу, под цилиндром диск-это подложка)
HeatTransferModel_1.7z
Reply all
Reply to author
Forward
0 new messages