膜厚計要校正時，該如何選擇較正片?

[104儀器總局]

若膜厚計有使用校正片校正膜厚時，應選擇與樣品膜厚較接近之校正片校正(例如:樣品膜厚為100μm校正片有50μm、500μm時，應選擇50μm校
正片校正)。